1、端蓋殼體與泵腔之間的軸密封
由于齒輪箱或端蓋殼體內均有預抽管道與泵的出口相通，即這部分的壓力與前級泵入口壓力基本相同，與泵腔之間的壓差較小，所以一般真空泵廠家可采用迷宮式密封、反螺旋式密封或活塞脹圈密封。
2、真空泵體端面的靜密封
有的采用有機硅室溫硫化橡膠膜密封，密封面不用加工密封槽，但因該硫化橡膠密封膜為一次性使用，且配制較麻煩，給現場維護帶來不便，且密封膜的厚度對轉子端面間隙有影響，在安裝時要掌握好膜的厚薄均勻性。
還可采用真空橡膠圈密封，密封可靠，即保證了轉子軸向間隙，又可方便地在現場拆裝。如果對泵體端面的結構設計適當，密封槽的加工可以很方便。
3、主動軸外伸部分的動密封
目前真空泵廠家采用較多的是標準型號的機械密封和帶加強環的骨架真空橡膠密封。機械密封功耗小，允許線速度大；但結構復雜，成本較高。骨架密封結構簡單，功耗較大，為減少軸與密封圈之間的摩擦，軸的表面硬度和光潔度要高。為了防止軸的磨損，可在軸上加一個硬度較高的且與軸靜密封的軸套。
另外，還可以采用獨立的密封盒結構，使密封件的拆裝和更換更加簡捷方便。還有的羅茨泵把電動機密閉在泵體一端的殼體內，從而有效地解決了動密封問題，提高了泵的真空度，降低了驅動功率。但為防止電機繞組線圈在真空下起弧，電動機的電源電壓應降至 50V 以下。該結構用于中、小型泵。
真空泵的潤滑方式
真空泵的潤滑部位主要有三處：軸封處── 一般用油杯潤滑；齒輪和軸承處──用齒輪或甩油盤濺油來保證潤滑。對于大泵也可采用油泵強制供油潤滑方式。
