由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
真空泵排氣過濾器，是一個歸于耗資料類配件，在真空泵里邊起到油氣分離效果，能夠防止真空泵油跟著尾氣排出真空泵泵體，把過濾下來的真空泵油沉積下來回流到油箱里，當排氣過濾器失效時，排氣過濾器就起不到過濾效果，就會把真空泵油跟著尾氣排出，具體表現就是在排氣口有白色或都藍色油煙。一般主張客戶運用3-6個月需求替換，污染比較嚴重職業，替換時刻會縮短。
真空泵廠家的真空泵油積碳、發黑，像油泥相同。要把真空泵油替換掉，將泵從體系上拆下，用潔凈的方盤接在放油孔下。旋下注油塞和放油塞，放出污油。斷續發動電機4~6，使各真空小室內的油悉數排出。然后從各抽氣管參加潔凈的真空泵油200~300CC。斷續發動電動機，再次清洗各真空室。這樣經2~3次重復清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處參加潔凈的真空泵油到視窗口的中心方位，旋緊注油塞不使漏氣。加油特別注意：油加的過多，削減油的參加量；進氣口長時刻抽大氣，應加以防止。
隨著環保力度的不斷加大，原來一些用水環式真空泵的企業或廠家因大量排出污水而被迫停止使用這種類型的真空泵，必須要選用干式真空泵或閉式循環系統及大型無油真空機組代替水環式真空泵，比如立式無油往復泵和無油旋片泵，中山市宇宙星真空機電設備有限公司生產的干式真空泵具有真空度高，抽速快，無污染的優點。
由于無污水排放，所以干式真空泵特別適用于化工、醫藥和食品等行業，特別需要在清潔高真空或者氣體需潔凈回收的環境中應用。無油真空泵的使用范圍更廣泛，應用于各種物品的吸收和輸送，自動機械的物料供給設備。閉式循環系統的設計一是針對排放的有污染的液體進行循環利用，大大地減少了對環境的損壞；二是回收可利用的介質，降低了成產成本。
