真空泵從選購到使用過程中的注意事項有：
1、真空泵工作壓強范圍的選擇：在選擇真空泵的類型時，需要考慮被抽真空室要達到的極限壓強和工作壓強。每種真空泵都有一定的工作壓強范圍。
2、真空泵廠家的真空泵大小的選擇：選擇真空泵的大小，就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據兩點：a）根據被抽真空室工作時所需要的工作壓強和室內的大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強和佳抽速壓強范圍，真空室內壓強要在泵的佳抽速壓強范圍內。b）根據真空室的大小和抽氣時間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
3、正確地組合真空泵：由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
4、真空設備對油污染的要求：若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
