干式真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
由于干式真空泵沒有真空介質(真空泵油、水等)，通過干式真空泵的氣體未受真空介質的污染。因而回收溶劑是潔凈的。這樣真空下冷凝部份轉換成常壓下冷凝，大大提高了溶劑類物料的回收率，對真空下難冷凝的物料特別有利。通過該流程配置，排放的尾氣中已基本不含有機廢氣。另外，泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程后，噪聲也大為下降。
干式真空泵主要用于高純凈的真空工藝過程，真空度極高，因此可適應惡劣工礦，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點，因此在石化、冶金、醫藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業將全面替代技術含量低的真空設備。
近來，半導體芯片制造產業發展提出的要求，作為高真空泵不能有油蒸氣存在，因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是，前級泵還沒有真正解決真空系統無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的干式真空泵。但價格昂貴、運行間隙過小，很難在商業上推廣應用。國外首先研制了工業上實用的干式真空泵，將羅茨泵進行六級串聯。之后又出現羅茨和爪型轉子組合起來的無油泵?？傊?，相繼出現了多種型式的干式泵，主要應用于半導體產業。
隨著社會科技的發展，越來越多的行業，對清潔真空、環保等的需求嚴格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地發展。因為起步較晚，很多企業用戶對干式真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數幾類上。
