干式真空泵在很多應用場合達到了理想的使用效果，工作容積中無油，更加耐用，可靠。
1、用于低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、干式真空泵用于半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
4、干式真空泵適用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止了有機溶劑造成污染；
5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
干式真空泵在應用中維護少，更加省時省力，同時也減少了污染的危害。
干式無油真空泵如來果操作或維護不當，就會造成冒煙等故障，這時候我們首先要了解原因，然后找出解決方案。
1、冒煙，如果是干式無油真空泵剛剛開始運轉有冒煙的現象，屬于正常，如果長時間在冒煙就是不正常了。
解決方法：冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結束。
2、噴油，說明進氣口外有大量的漏點，甚至是進氣口暴露大氣。
解決方法：①封住干式無油真空泵的進氣口使泵運轉，如果不噴油的話，說明有漏點；
②排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥片。
干式無油真空泵故障分別由不同的原因引起的，零部件損壞要及時的更換，防止引起大的故障。
干式真空泵溫度高一直是困擾用戶的大問題，解決這個問題首先要了解導致這種問題出現的原因是什么，進行總結然后做出技術處理。
一、原因
①風扇轉速低，風壓，風量小。電機功率大，工作電流大，發熱量大
②風扇葉片數較少，產生的風量小。
③真空泵電機所在母線電壓380V，由于電纜壓降及負荷分配不均，電機實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運行電流大。
④電動機附有灰塵、油污，降低了散熱能力。
二、解決方法
電機功率、轉速是和真空泵相匹配的，不能更改。風扇安裝于電機主軸上，電機轉速決定了風扇轉速，也不可更換。增加風扇葉片數量雖能起到一定作用，但葉片數量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。
將原風扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風扇罩同直徑軸流風機，軸流風機電機功率850W，轉速1489r/min，電壓380V。原風扇繼續保留。軸流風機服裝學校另設一路電源控制，軸流風機與主電機不設連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風機運行，真空泵停運后30min停運軸流風機，以使主電機得到充分冷卻；定期清除電機上灰塵，保持電機散熱片清潔，增加其散熱能力；將干式真空泵所在母線電壓調整為400V。
