導致真空值常見故障的緣故并不是唯一的，而人們的檢驗方式又十分單一，全部系統軟件僅有一塊負壓表，這方面 表只有體現系統軟件的后抽真空結果，卻不可以體現在某一時間上每個模塊的工作量，為發生的搜索產生 了很多不方便，也增多了常見故障的清查時間。 現階段，選用的常見故障清查方法主要為排除法，流程如下所示: 1、明確真空值儀表盤的準確性; 2、保證系統軟件緊急切斷閥無泄漏; 3、若常見故障為狀況一的表達形式，則需對所有操作系統開展外泄漏的查驗; 4、若常見故障為狀況二的表達形式，先查驗蒸氣、水等電力能源物質的各類變量值是不是有出現異常，如無異常 ，查驗各止逆閥，如無異常，作系統軟件特性試驗，明確哪一級泵的特性有什么問題，查驗該泵的噴頭和蒸 汽閘閥。 是真空機的抽真空本事不足或是漏率高;或者二者兼而有之，必須細心觀查和紀錄，從這當中找到常見故障原 因，例如，抽時間時間同樣，而真空值稍低，此刻，關掉高壓閥，如真空計表針迅速降低，大部分情 況是真空系統漏了，應先查出來漏過。
如真空計表針降低比較慢，大部分狀況是真空機抽真空本事不足，這 時可將關鍵放在搜索機械泵及閘閥的問題上，看是哪里發生了泄露，或者擴散泵油被環境污染、空氣氧化等 ；或者前面管道密封性不太好，油閥不夠;或者泵有油破乳，水泵密封滲油，泵殼毀壞等常見故障。 漏分類別漏和外露;外漏比較好檢驗，漏氣則費事些。
外露比較大的漏過可以用火苗法，運用氣旋能使火 焰偏移的基本原理，先抽上真空泵，用焟燭或火機在可疑問周邊逐漸查詢，會發覺火花向漏過偏位，則 可尋找漏過。漏氣則要從不一樣真空泵工作中地區系統分區清查，在超濾裝置做到一定工作壓力值后，各自運行卷 繞和揮發系統軟件，觀查真空計的讀值在短暫性降低后有沒有抬升，可以分析判斷內漏過方位。漏氣多產生 在有冷卻水點的設施上，在查外露沒有發覺疑問，可是卻有下列狀況：真空泵的抽速顯著稍低，真 空計量程低，機械設備油閥迅速破乳，真空泵房間內的鐵基零部件顯著生銹等，具有以上標準基本上可以推論 漏氣，先將箱體清除整潔，再通冷卻循環水，細心查詢通水管路有沒有潮濕點，濕潤處便是漏過。
