低干式真空泵設備如真空運輸.真空預浸.真空過慮.真空簡單.真空減壓蒸餾（鋼液處理）等要求具備壓力高.排量大的低真空泵抽 氣發電機組，這種低真空抽氣機組主泵常見往復真空泵.骨架密封式真空泵.水蒸汽放射性泵.水環真空泵.羅茨真空泵等。應用的低真空抽氣機組 還需要根據被抽汽體清理水平.環境濕度或別的獨特要求，配備必需的除塵設備.簡單罐等構件。 水蒸汽在縮緊全過程中會凝固成水珠，并與泵混和組成混液，不只能使真空度著陸，也可以使泵腔與電機轉子銹蝕，毀壞突面，使泵的 極限真空度著陸。因此，避免水蒸汽對真空泵的環境污染很重要。
避免的對策有： （1）采用含有莫墩器的氣缸密封圈真空泵； （2）盛油各自器.離心式風機各自器或水油各自器，將混存水的機械設備油閥中斷處理，處理過的油再注入泵中應用； （3）應用吸水能力強的單調濟； （4）應用液態氮冷肼，不只可以合理地吸咐水蒸汽，與此同時還能夠阻礙機械設備油閥向高真空室反流。 應用吸水能力強的單調濟； 油擴散泵真空系統軟件環境污染與預防 油擴散泵真空系統軟件是應用zui廣泛的真空系統軟件，其得到真空度范疇為1.3×10-3～1.3×10-5Pa。油擴散泵真空系統軟件組成的各種真空設備，長期性應用后，普遍的不足之處是真空度抽不上來，或真空度抽不上原先的極限真空水準。與真空房間內壁的油蒸汽環境污染.真空加工工藝全過程各種各樣污染物質的環境污染相關，避免的法子是： 按時清理真空室； 按時對骨架密封機械設備真空泵和油金屬材料擴散泵中斷清理。---真空泵廠家
