干式真空泵的運用范疇普遍，在其中和它的五種方式有一定的關聯，不清楚大家針對干式真空泵的五種方式掌握是多少，不了解也沒事兒，文中就為大伙兒詳細介紹這些方面的專業知識。
一、雙圓碎片式
雙圓碎片式的多級別設計方案促使汽體通道非常繁雜，而且每一級都必須很大總流量的N2具有稀釋液和隔離作用。另外，為了更好地做到好的真空值，對各個的空隙有十分嚴苛的規定。自然，這類設計方案因為提升了內部的發動機壓縮比而促使其用電量相對性較低。
二、三葉圓碎片式
三葉圓碎片式設計方案和所述方式設計方案的基本原理同樣，僅僅在轉動一圈里將汽體分成三份而不是像雙圓碎片式分成二份。為了更好地進一步減少用電量，在傳動系統一部分有的生產廠家采用2個直流馬達，但這也會造成 扭距減少，重啟的工作能力—降低。
三、整體式（羅次 爪）
整體式（羅次 爪）設計方案用羅次來提升 在較低工作壓力下的抽真空高效率，用爪來提升 在較高工作壓力下的抽真空高效率。它的基本概念和汽體通道同前邊詳細介紹的圓碎片式設計方案同樣。也一些生產廠家將其最終一級改成星形設計方案，那樣能夠在轉動一圈里將汽體分成五份，如同三圓碎片式設計方案能夠將其分成三份。
四、外界縮小型螺桿式壓縮機
在外界縮小型螺桿式壓縮機設計方案中，應用一對定距擠出機螺桿。這促使內部縮小減少，另外促使汽體通道簡易。那樣，汽體在泵身體滯留的時間也短。這類設計方案但在繁雜的半導體材料加工工藝中主要表現出的可靠性十分強。
五、內部縮小型螺桿式壓縮機
擠出機螺桿間容量的持續減少促使其內部造成縮小。在許多加工工藝中，這類內部縮小同多級離心泵一樣，非常容易導致汽體在泵身體的物理學轉變而造成干固或汽化。
根據前文的詳細介紹大家掌握到干式真空泵的五種方式，在之后的應用全過程中我們可以依據自身的要求來挑選它的方式。
