針對這種不一樣種類的干式真空泵，大家都期盼可以將其物理學規格減少。但這與真空泵的抽真空速度相分歧，由于真空泵的抽真空速度與真空泵的容量正相關，物理學規格小代表著容量也小。自然，還有一個危害真空泵的抽真空速度的關鍵要素，那便是轉速比。為了更好地讓小規格的真空泵的抽真空速度與大容量真空泵的抽真空速度相符合，就必須提升 它的轉速比。而要想更改真空泵的轉速比有二種方式，一是更改開關電源的頻率，即選用軟啟動器;二是更改減速箱的減速比。在其中，選用軟啟動器的益處是能夠出示一個閉環控制系統，但在大負荷下非常容易造成扭距的損害。而更改減速箱的減速比是一種十分經濟發展的方式，自然，它只有出示不可控性的單一轉速比。
如今，能夠見到干式真空泵擁有 這般多的不一樣設計方案，他們分別擁有 自身的特點和優點和缺點。一直以來，應用成本費是一個危害大家挑選真空泵的關鍵要素。愈來愈多的真空泵客戶意識到也應當將真空泵運作的可靠性考慮到進來。由于真空泵的出現意外失敗會造成設備的應用高效率減少，危害到圓晶的生產制造和供貨周期，乃至導致所生產加工圓晶的損毀和設備其他構件的毀壞。因為螺桿式壓縮機設計方案為單極設計方案，同多級離心泵如圓裂片式，爪式及其整體式對比，其在零件的應用總數上降低了60%。這促使其在可靠性和未來的檢修成本費上面有非常大的優點。
綜合性考慮到，假如客戶覺得用電量對他而言更為關鍵而N2使用量對他而言最不重要，那麼挑選內部縮小型螺桿式壓縮機能夠是一個好的挑選。但廣泛來說，對尾氣處理愈來愈嚴苛的規定促使未來對降低N2的使用量越來越更關鍵。假如你期待用單一種類的泵不歷經更改來解決各種各樣不一樣的半導體材料加工工藝，而促使你的庫存控制簡單，那麼外界縮小型螺桿式壓縮機就是你最好是的挑選。
依據實際情況，綜合性之上全部設計方案種類的優勢一定是最理想化的挑選，但現階段還不大可能。因而，這就規定使用人最先要了解在干試泵的設計方案上擁有 這般多的不一樣設計方案種類，從而依據本身加工工藝特性掌握各種各樣不一樣種類泵的設計方案對其危害。那樣作出的挑選才可以盡量減少其應用成本費，而得到 一個使用壽命較長的平穩的超濾裝置。
