目前耐腐蝕真空泵廠家的轉子的冷卻方式有三種：空氣冷卻、內部冷卻和膜冷卻
1、空氣冷卻：
耐腐蝕真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量須從轉子傳至殼體而散發。但在低壓下，氣體對熱的傳導和對流性能很差，致使轉子吸收的熱量不易散出，造成轉子溫度高于殼體的溫度。由于轉子的熱膨脹，使轉子與轉子間、轉子與泵殼間的間隙減少，特別在壓差也高的情況下，尤為嚴重，甚至造成轉子卡死，使耐腐蝕泵損壞。
為了使耐腐蝕真空泵在較高的壓差下工作，以擴大使用范圍，增加真空泵的可靠性，就需設法散出轉子產生的熱量，即對轉子進行冷卻。
2、轉子的內部冷卻：
為了使耐腐蝕泵在更高壓差下工作，可采取更有效的方法，即將轉子用循環油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。冷 卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。
這種方法效果較好，耐腐蝕泵在運轉時轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。
3、轉子的油膜冷卻：
這種冷 卻方法是在耐腐蝕泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷 卻油帶走轉子的熱量。
這方法不僅能將耐腐蝕泵轉子上的熱量帶走，同時在兩個轉子表面上形成油膜，防止氣體的逆流，而且還能將轉子表面上依附的微細塵埃帶走。在耐腐蝕泵的出口處設有油槽，收集廢油，過濾冷 卻后重新循環使用。
此方法效果良好，但由于耐腐蝕泵內有油，失去了泵無油蒸汽污染真空系統的特點。其次油具有一定的粘度，對高速旋轉的耐腐蝕泵轉子增加了不少的摩擦力，當然使泵的功率消耗增加
