根據具體情況，上述所有設計類型的優點都必須是理想的選擇，但尚不可能。因此，這要求用戶首先了解干式真空泵設計中有這么多不同的設計類型，然后根據他們自己的過程特性來了解各種類型的泵設計其的影響。這樣的選擇可以大程度地降低其使用成本，并獲得具有長壽命的穩定的真空系統。
1、真空機組的構成與分類
真空機組一般由下列元件構成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。
按機組的工作壓力分，有粗真空機組(>1330Pa)；低真空機組(1330~0.13Pa)；高真空機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機組(<1.2×10-11Pa)。
2、高真空機組
①選好主泵，主泵有擴散泵、分子泵，濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。
?、谶x好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)
3、超高真空機組
主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。
?、贁U散泵機組：降低返流、控制污染。
?、诜肿颖脵C組：氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫。
?、蹫R射離子泵機組：通常與鈦泵聯合使用。
?、艿蜏乇脵C組：無污染。
4、低真空機組
低真空機組的主要特點是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的干式真空泵輸送、真空浸漬、真空過慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空機組的主泵常用往復式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空機組，還需要根據被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過慮器等元件。
