經常檢查油位位置，不符合規定時須調整使之符合要求。以真空泵運轉時，油位到油標中心為準。換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，真空泵廠家建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。
經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油，確保真空泵工作正常。 一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。真空泵廠家建議清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。
向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。真空泵廠家建議用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。 重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。
開動電機，當真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。 盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證真空泵在效率點運轉，才能獲得的節能效果。
真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。 真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35C，溫度不得超過80C 。 真空泵在工作個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。
經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。 定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。 真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂
