隨著社會科技的發展，越來越多的行業，對清潔真空、環保等的需求嚴格，要求避免返油漏油的污染，因此干式真空泵得到了快速地發展。因為起步較晚，很多企業用戶對干式真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數幾類上。
干式真空泵主要用于高純凈的真空工藝過程，真空度，因此可適應惡劣工礦，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點，因此在石化、冶金、醫藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業將全面替代技術含量低的真空設備。
干式真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
由于干式真空泵沒有真空介質(真空泵油、水等)，通過干式真空泵的氣體未受真空介質的污染。因而回收溶劑是潔凈的。這樣真空下冷凝部份轉換成常壓下冷凝，大大提高了溶劑類物料的回收率，對真空下難冷凝的物料特別有利。通過該流程配置，排放的尾氣中已基本不含有機廢氣。另外，泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程后，噪聲也大為下降。
干式真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室常備的設備之一。因此在選購干式真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。
