真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。真空泵油的選擇對真空泵的正常運轉十分重要。
真空泵的吸入管道前應裝有逆止閥，以防停車時，水或其它液體甩向吸入管道。水環式真空泵的吸入管道前應裝有逆止閥，以防停車時，水或其它液體甩向吸入管道。吸入管道不應分布在蒸汽管道或其它有熱量的地方，否則會使吸入氣體溫度升高，從而降低氣量和真空度。
真空泵是主要的真空裝備、從產生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發鈦升華泵等）。
真空泵廠家的真空泵在工業部門中應用相當廣泛，如燈泡制造、電子管、食品包裝、半導體器件的制造。真空蒸餾、真空浸漬、離子氮化、真空干燥、真空滲碳，真空淬火、真空澆鑄等。在真空條件下由于氣體分子數較少，可以避免氣體產生的有害作用。如在真空中熱處理可以避免氧化和氣體滲入金相組織，從而提高零件質量;在電子器件中保持高真空可以避免電子運動受到影響；在真空包裝中保持高真空可以提高食品保質期。
真空中放置一對電極，加上高壓時，在一定的電壓下也會產生電極之間的電擊穿。它的擊穿與空氣中的電擊穿有很大不同?？諝庵械膿舸┦怯捎跉怏w中的少量自由電子在電場作用下高速度運動，與氣體分子碰撞產生較多的電子和離子，新生的電子和離子又同中性原子碰撞，產生更多的電子和離子。這種雪崩式的電離過程，在電極間形成了放電通道，產生了電弧。
