雖然真空泵發生的故障是多種多樣的，但絕大多數故障卻是可以排除的。有時，一臺新泵，對某些生產應用來說，仍覺其極限真空度不夠高，維修工作者也可盡可能設法將其改進一些從前而所述的維修方法、步驟、關鍵部位的分析，可以找到解決辦法。
有些泵，按其極限真空度的指標來說，也并不是很低的，但是生產上卻希望它還能提高些，應如何著手呢？對下面一臺新的2X-30型旋片式油封機械真空泵的修理經驗就可借鑒。在該泵起初進行試抽時并未發現它有什么大毛病。生產上用它單獨抽空希望能穩定地達到熱偶真空計75格以上(相當于麥氏計測的5*10-4托)，而實際上它比所希望的低不多。
1、真空泵進口調節閥的作用
真空泵一般是用來抽真空的，但是并不是所有的場合均要求真空度越低越好，而有的場合是要求控制在某一需要的真空度范圍內，或者是真空泵的泵腔內壓力過低，泵腔內會發生嚴重的汽蝕，造成泵的振動、噪聲過大而影響使用的時候，可以在泵的吸氣區域增加一個真空調節閥，在上述情況發生時，可以適當打開調節閥以緩和振動和噪聲的影響，或者是降低真空度，達到需要的真空度要求。這是為了更加合理地應用真空泵的一種方法。
2、大氣噴射器的作用
任何液體在任何溫度下均存在一個汽化壓力， 水環式真空泵 的極限真空度，和真空泵液環流液體飽和蒸汽壓有關，飽和蒸汽壓高的介質，真空泵的極限真空度越低，反之，極限真空度越高。從圖1我們可以看出，真空泵在1-5的吸氣過程中，該腔體內形成了真空狀態，由道爾頓定律可知，液環在葉輪的攪拌下，我們認為空腔1-5內充滿了液環流的飽和蒸汽壓和吸入氣體的壓力的和，當吸入氣體量為零時，真空泵的吸入壓力更低，真空度更高，這時1-5腔內的壓力即為液環的飽和蒸汽壓。所以真空泵進口的更低絕對壓力一定是作為液環介質在該溫度下的飽和蒸汽壓力值。
3、定期對真空泵廠家的真空泵保養和開展預知性維修
任何機械裝置都有一定的壽命，一臺完整的真空泵由許多零部件構成，因此，真空泵發生故障是極其必然的現象。就像我們的私家車每年都需要定期保養、定期預知性維修一樣，要想提高真空泵運轉性能和延長真空泵生命周期，對真空泵進行定期預知性維修是必要的，在未發生故障以前檢查并清除潛在的隱患，這樣就會大幅度的提高其使用壽命。
據相關調研報告，近十年以來，國內外許多大型企業都組織真空泵維修工人對他們的裝置定期保養和預知性維修。這樣一方面由于預知性維修是在真空泵發生故障之前，經過仔細的檢查就可以確定故障發生的部位以及原因，可以再佳的時間進行真空泵維修，進而使整個裝置達到利益大化。另一方面，通過事前維修的方式，可以降低真空泵發生故障對平時的生產經營造成的損失。
