干式真空泵很早就出現了，但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說，一般通用的說法是：能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內工作；在泵的抽氣流道(如泵腔)中，不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通，能連續向大氣中排氣的泵，即稱為無油真空泵(也稱為干式真空泵)。
干式真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好，也是實驗室常備的設備之一。
在選購干式真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是干式真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要?？闯槿〉臍怏w有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。
干式真空泵在結構設計上，如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油，也有用合成油，如PFPE油和其油脂等，并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內不存在，嚴格來說不是全無油的泵，但經分析，這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的，并無影響。
對于普通的干式真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果，同時噪音非常小，具有很好的環保效果。對此，中山市宇宙星真空機電設備有限公司預測：受惠于國家相應的低碳環保優惠政策，以及社會各界日益增強的節能環保意識，干式真空泵或將成為未來真空泵市場上的“搶手貨”。
