真空泵廠家的低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空單調、真空脫氣（鋼水處置）等懇求具有工作壓力高、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空抽氣機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣放射泵、水環泵、羅茨泵等。運用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊懇求，配置必要的除塵器、單調罐等部件。
水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合形成懸浮液，不僅會使真空度下降，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度下降。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。防止的措施有：
（1）選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；
（2）裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流入泵中使用；
（3）使用吸水性強的干燥劑；
（4）使用液氮冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻擋機械泵油向高真空室返流。
真空泵廠家的真空泵機組中的真空系統污染預防，我們其實也就是要注意應該選用帶有氣鎮裝置的一個油封機械泵；真空泵進行裝油分別器以及其離心式分別器亦或者是油水分別器來講，其實也就是會直接的就把混有水的機械泵油進行中止處置，對于處置過的油其實也就是會再流入到泵中進行運用。
環境污染對真空衛生影響很大。環境污染物來自空氣、地板、墻壁、天花板、家具、衣服的灰塵、棉絨、煙灰、頭發和頭屑。為此，電真空器件的生產，一些特殊零、部件的生產，都要求在清潔車間或超潔凈車間里進行操作。在電子管制造中，管子裝架和零件處理必須在封閉良好的沽凈間里進行，空氣必須經過兩級或多級過濾，相對濕度保持在50%以下。
綜上所述，真空衛生涉及到真空系統、真空裝置和真空工藝生產各方面，涉及到真空裝置本身和特殊真空工藝對周圍環境的要求，這是一個值得重視的問題。
