真空泵里面的構造很簡單，但裝配間隙很小，當葉輪平面和圓盤平面的間隙保持在0.2毫米左右時，才能正常的產生真空。圓盤和葉輪之間的間隙過大時，真空泵的真空度會降低或者沒有真空度。間隙過小時，電機的運轉吃力，容易燒毀電機。
水環式真空泵是用水來做工作液，使用成本低，由于各地區水質的不同，有的水質偏硬，在真空泵使用一段時間以后，泵內容易產生水垢(和燒水的水壺里面的白色水垢是一樣的)圓盤和葉輪之間的間隙變的很小，這時候不清除泵內的水垢，電機運轉吃力，容易燒毀電機或打碎葉輪，解決的方法是，可以把鍋爐除垢劑加入泵內(不要把泵拆開)，過二十分鐘后再用清水沖洗干凈，注意不要把鍋爐除垢劑排進真空泵的循環水里面去。買不到鍋爐除垢劑的可以用稀鹽酸處理，鹽酸對泵有輕微的腐蝕，不如用鍋爐除垢劑好。
在整個鋼液處置過程中，體系的真空度是跟著鋼液的放氣量的削減而不斷升高的。在鋼液處置前期，體系真空度低，放氣量大，需求前級泵的抽氣才能大，通常選用多個泵并聯的方式增大體系的抽氣量。而當體系真空度不斷升高時，體系的放氣量也隨之削減，為了下降蒸汽耗量，節省能源，需封閉前級并聯泵中的若干只。若是兩個逆止閥開關不到位，或許有走漏，都會給體系的才能形成影響尤其是閥的走漏會形成體系短路，使上一級泵因背壓過高而無法正常作業，呈現二重真空表象。其次，真空泵的噴嘴是由兩部分組成的，這兩部分是靠法蘭銜接的，關于聯接法蘭在泵體內的真空泵，若聯接處因為密封等緣由形成蒸汽的走漏，也會給真空泵的功能形成影響。
真空泵卡死總是發生在轉子、旋片與端面或中隔板之間或轉子與真空泵腔之問，而這些部位正是決定一臺真空泵的極限壓強的關鍵部位，所以，一發生卡死現象，就要緊急停真空泵，排除故障，妥善修理，千萬不可再試車甚至蠻干，否則很易造成全真空泵報廢，無法修復。前己講過類似例子。
有些真空泵的卡死毛病較易修復。例如：宇宙星真空泵廠家生產的一種旋片真空泵，前后級的氣體通路是在中隔板頂部銑一半圓槽，上面墊橡皮板，由油箱壓緊，當橡皮板太厚、油箱壓得太緊或橡皮被油泡久發脹等而使氣道半圓槽被堵死時，就會使真空泵開不動或開一會兒便卡死這時，只需把真空泵拆開，挖去氣道部分所墊橡皮，重新裝好即可。
