許多使用干式真空泵的用戶會碰到一種問題：返油，除了泵沒有防返油的裝置這種情況除外，在泵停止工作時這種現象更為明顯，這時候采取必要的措施便可以減少損失。
干式真空泵的放置位置與返不返油沒有關系，在停泵時切斷油路，消除泵腔負壓，降低液位差，減少返入油量，是防止返油的基本原則：
①軸封河靜密封部位要可靠，適時更換。
②把排氣閥附近的油與其余油隔開，油位只略高于隔墻。
③閥座平面要平整，閥片加彈力。
④設置止回閥結構，干式真空泵停泵時自動關閉進油孔。
⑤把油箱和排氣閥移在側面，以降低油位，減少油量。
⑥在油孔中加管子，使油位僅略高于進油口。
⑦泵口裝充氣閥。
⑧設置干式真空泵和輔助結構，停泵時切斷油路。
⑨停泵后可以給抽氣口充入氣體，保證泵的兩端壓力平衡。
⑩進氣口的防反油閥建議更換。因為泵抽真空，當泵停止后，真空腔內大氣壓比外面的低，會把泵中的油抽出去，造成返油。
泵體返油原因：每次干式真空泵抽真空時，油不倒流，但當真空泵停止工作，管路里就會有油倒流。當泵停止工作時，有油孔與泵腔相通或排氣閥、軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮閥等密封不嚴現象，由于液位差的存在和重力作用以及泵腔處于真空狀態時油箱與泵腔的壓差作用，油就會返入泵腔，油量足夠大時，油還會返到進氣管道中，造成下次起動時阻力大，旋片和轉子受力大，排氣閥受力大，起動困難，影響零部件壽命，降低泵的可靠性。干式真空泵返油不是簡簡單單的零件老化這么簡單，造成的損失不可忽視，不僅降低了泵的可靠性，而且造成了油的浪費，因此要及時找出解決方案。
干式真空泵雖具備功耗小，故障率低等優勢，但是啟動之前的檢測工作還是不能省略，有利于降低設備投資與運行費用。
一、檢查干式真空泵系統各閥門處于啟動前位置。各壓力表、繼電器、水位計考克打開，分離器和干式真空泵底部排水門關閉，補水（凝結水）總門打開，補水旁路關閉，板式換熱器進出水門打開。
二、聯系電氣送上干式真空泵組控制箱電源及干式真空泵馬達電源。
三、向干式真空泵系統內注工作水，工作水位升至液位計最高值時補水電磁閥自動關閉，停止補水。
四、啟動密封水泵，檢查密封水壓約0.07MPa（表壓力），密封水泵運行正常，分離器水位正常。
五、啟動干式真空泵，檢查干式真空泵運行正常，軸端盤根應有少量水滴下，盤根不發熱。
六、當干式真空泵進氣口真空達規定值時，干式真空泵進口隔離蝶閥自動打開，開始對凝汽器抽真空。
干式真空泵可以直接抽吸水蒸汽等可凝性氣體，抽氣量大，經過檢測的泵體滿足了各個生產需求。
