無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
2013年止，真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。
應用
干式真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
在許多工業過程中，例如真空過濾，真空分流，真空進料，真空蒸發，真空濃縮，真空回流和真空脫氣，水環泵已被廣泛應用。由于真空應用技術的飛速發展，水環泵在粗真空采集方面受到重視。由于水環泵氣體是等溫壓縮，可以除去易燃，易爆氣體，除灰塵外，還可以除水，因此水環泵的應用越來越多。在泵體內配合適量的水作為工作液。當葉輪順時針旋轉時，水被泵送在葉輪周圍，并且由于離心力，水形成大約等于泵腔厚度的閉環。水環下部的內表面與葉輪轂完全相切，水環的上內表面剛剛與刀片頂部接觸（實際上刀片在水環中有一定的插入深度）。
此時葉輪轂與水環之間形成月牙形空間，并將此空間分為葉數和葉數相同的小腔。如果葉輪的下部以0°為起點，則葉輪在180°之間旋轉時，小腔體積從小到大，并與吸氣端連接，此時氣體為吸入，與吸入口隔離;當葉輪繼續旋轉時，空腔大大減小，使得氣體被壓縮;當小腔和排氣口，氣體將被排出泵外?？傊?，水環泵是由泵室容積變化來實現吸氣，壓縮和排氣，因此屬于變容量真空泵。根泵在泵室內，真空泵中有兩個“8”形轉子需要前級泵。防腐泵的極限真空取決于泵本身的結構和制造精度，也取決于前泵的極限真空度。
為了提高泵的真空極限，羅茨泵可以串聯使用。羅茨泵的工作原理就像羅茨鼓風機。作為轉子的連續旋轉的結果，泵從入口被吸入到轉子和泵殼體之間的空間v0中，并通過排氣口排出。由于空氣在v0空間完全封閉后，因此，泵室中的氣體不被壓縮和膨脹。 但當轉子的頂部通過排氣邊緣時，v0空間與排氣側的連通，由于排氣側的氣體壓力較高，則部分氣體返回空間v0至氣體壓力 突然增加 當轉子繼續旋轉時，氣體離開泵。
